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    紫外臭氧清洗機的工作原理

    發布時間: 2022-11-30  點擊次數: 1302次
      紫外臭氧清洗機清洗是一個干燥的過程。而紫外臭氧清洗機內會配備臭氧清除裝置,廢氣臭氧在系統內分解,不會造成清潔室內的臭氧含量過高從而產生危害。紫外臭氧清洗機也可配置成連續加載的清洗線,并可與DI水沖洗系統耦合,清除表面的顆粒。應用范圍十分廣泛,在現代信息技術行業中使用光清洗技術比較普遍,隨著我國工業現代化的發展,光清洗和光改質技術還將逐步應用于金屬、塑料、橡膠等工業生產領域。
     
      紫外臭氧清洗機的工作原理:
     
      通過產生185nm和254nm高強度UV光分解有機分子(污染物)。185nm波長紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(02)分解成臭氧(03),而254nm波長的紫外光的光能量能將03分解成02和活性氧(0)。在連續進行的光敏氧化反應中,生成的活性氧原子與活化了的有機物(即碳氫化合物)分子發生氧化反應,生成揮發性氣體(如C02,CO,H20,NO等)逸出物體表面,從而清除粘附在物體表面上的有機污染物,達到清洗的目的。
     
      紫外臭氧清洗機的應用案例包括:表面清潔、薄膜沉積、紫外光刻、表面殺菌、AFM/STM探針清潔、UV化學反應、光學部件的清潔、改善樣品表面親水性、去除表面單分子層、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等。
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