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    紫外臭氧清洗機(UVO)

    紫外臭氧清洗機(UVO)

    簡要描述:紫外臭氧清洗機(UVO)應用案例包括:表面清潔、薄膜沉積、紫外光刻、表面殺菌、AFM/STM探針清潔、UV化學反應、光學部件的清潔、改善樣品表面親水性、去除表面單分子層、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等。

    產品型號: E511

    所屬分類:紫外臭氧清洗機

    更新時間:2023-09-18

    廠商性質:經銷商

    詳情介紹

    紫外臭氧清洗機(UVO)工作條件:

    工作環境溫度:5-35℃。

    工作環境濕度:≤70%。

    電源:220/240V、50/60HZ。

    應用案例包括:

    表面清潔、薄膜沉積、紫外光刻、表面殺菌、AFM/STM探針清潔、UV化學反應、光學部件的清潔、改善樣品表面親水性、去除表面單分子層、表面氧化、表面刻蝕/縮微成像等。

    適用樣品類型:石英、硅、二氧化硅、氮化硅、金、鎳鋁、砷化鎵、氧化鋁、玻璃、不銹鋼等。

    儀器基本配置:主機+電源線+說明書。

    紫外臭氧清洗機(UVO)技術參數:

    UV燈類型

    人造石英紫外格柵燈

    UV燈主要波長

    185 nm 和 254 nm

    UV燈規格

    100 mm x 100 mm

    UV燈電流

    30 mA (恒定)

    254 nm 輸出強度

    100厘米距離的光強度為20 µW/cm2

    UV 燈使用壽命

    T80 (2000小時); 8-10年標準日常使用時間

    電源

    電源220-240 VAC 保險絲:1A

    選配的AC/AC 變壓器

    110 V / 230V

    大運行時間

    59 分鐘59秒

    安全特征

    安全互鎖裝置, 高溫報警, 熱熔斷路

    托盤尺寸

    100 mm x 100 mm

    大樣品尺寸

    100 mm x 100 mm

    大處理樣品高度

    14mm

    外形尺寸

    寬:204 mm   高:227 mm    長:300 mm




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