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    plasma處理系統

    plasma處理系統

    簡要描述:plasma處理系統SAT-5D;采用皮拉尼真空技術,實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度,具有1Pa的真空分辨率,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實現對氣體流量和真空度的控制和監測。

    產品型號: SAT-5D

    所屬分類:plasma處理系統

    更新時間:2023-09-18

    廠商性質:經銷商

    詳情介紹

    技術特點:

    1.艙體、管路、閥體全部為不銹鋼材料,耐用、防腐容易清潔。

    2.plasma處理系統SAT-5D實現了手動,自動兩種模式任意切換的工作方式,方便用戶實驗

    3.儀器實現了程序化設計,預先編輯好程序,儀器可以自動完成實驗

    4.無需任何耗材使用成本低,無需特殊進行維護,日常使用保持儀器清潔即可

    5.電容式等離子激發,處理效果均勻,激發電極板內置樣品倉內頂部懸掛

    6.密閉真空環境下完成實驗避免二次污染

    7.13.56Mhz射頻電源,掃頻自動匹配,穩定可靠,具有自動保護功能。

    8.靈活的參數設置和修改功能,可適應多種處理工藝。

    9.plasma處理系統SAT-5D采用皮拉尼真空技術,實時檢測和顯示樣品倉的真實真空度,具有1Pa的真空分辨率,能夠方便的接入MFC氣體流量控制儀,實現對氣體流量和真空度的控制和監測。

    10. 液晶屏+薄膜數字按鍵控制方式,操作直觀簡單穩定可靠。

    技術規格參數:

    型號:SAT-5D


    不銹鋼/石英艙體

    Φ150 mm×L255mm

    可以選配石英轉鼓用來處理微顆粒以及粉末

    工作氣路

    兩路,可以選配MFC控制

    射頻頻率

    13.56MHz

    射頻功率

    0-150W,可調,掃頻自動匹配

    控制系統

    液晶屏+薄膜數字按鍵,實時顯示和檢測艙內真空度值

    時間范圍

    0—99分59秒連續可調

    工作壓力

    樣品倉內200Pa以內根據進氣量自動調節

    工作氣體

    空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可

    進氣壓力

    空氣:常壓 連接氣體鋼瓶:0.1-0.3Mpa

    工作模式

    手動模式和程序化自動模式

    真空泵

    抽速:1升到5升每秒

    輸入電源

    ~220V/50Hz

    整機尺寸(D*W*H)

    552X590X295mm

    重量(約)

    28Kg




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